Wydajność wiórów w branży produkcyjnej chipowej jest ściśle związana z wielkością i liczbą cząstek powietrza osadzonych na Chip. Dobra organizacja przepływu powietrza może przyjmować cząsteczki wytwarzane ze źródeł pyłu z dala od czystego pomieszczenia i zapewnić czystość pomieszczenia czystego. Oznacza to, że organizacja przepływu powietrza w pomieszczeniu czystym odgrywa istotną rolę w wydajności produkcji chipów. Celem, które należy osiągnąć w projektowaniu organizacji przepływu powietrza w czystym pokoju, są: zmniejszenie lub wyeliminowanie prądów wirowych w polu przepływu, aby uniknąć zachowania szkodliwych cząstek; Aby utrzymać odpowiedni pozytywny gradient ciśnienia, aby zapobiec zanieczyszczeniu krzyżowym.
Zgodnie z zasadą czystego pokoju siły działające na cząstki obejmują siłę masową, siłę cząsteczkową, przyciąganie między cząstkami, siłę przepływu powietrza itp.
Siła przepływu powietrza: odnosi się do siły przepływu powietrza spowodowanego przez przepływ powietrza zaopatrzenia i zwrotu, przepływ powietrza konwekcyjnego, sztuczne pobudzenie i inne przepływy powietrza o pewnej prędkości przepływu w celu przenoszenia cząstek. W celu kontroli technologii środowiska w czystym pomieszczeniu siła przepływu powietrza jest najważniejszym czynnikiem.
Eksperymenty wykazały, że w ruchu przepływu powietrza cząstki podążają za przepływem powietrza z prawie dokładnie taką samą prędkością. Stan cząstek w powietrzu zależy od rozkładu przepływu powietrza. Główny wpływ przepływu powietrza na cząstki wewnętrzne obejmują: przepływ powietrza w powietrzu (w tym pierwotny przepływ powietrza i wtórny przepływ powietrza), przepływ powietrza powietrza i konwekcji termicznej spowodowane przez osoby chodzące oraz wpływ przepływu powietrza na cząstki spowodowane operacjami procesowymi i sprzętem przemysłowym. Różne metody zaopatrzenia w powietrze, interfejsy prędkości, operatorzy i sprzęt przemysłowy, zjawiska indukowane itp. W salach czystych są czynnikami wpływającymi na poziom czystości.
1. Wpływ metody zaopatrzenia powietrza
(1) Prędkość zasilania powietrza
Aby zapewnić jednolity przepływ powietrza, prędkość zasilania powietrza w jednokierunkowym pomieszczeniu czystym pomieszczeniem musi być jednolita; Martwa strefa na powierzchni zasilania powietrza musi być niewielka; A spadek ciśnienia w filtrze HEPA musi być również jednolity.
Prędkość zasilania powietrza jest jednolita: to znaczy nierówność przepływu powietrza jest kontrolowana w granicach ± 20%.
Na powierzchni zasilania powietrza jest mniej martwej przestrzeni: należy nie tylko zmniejszyć płaszczyznę ramy HEPA, ale co ważniejsze, modułowy FFU należy użyć do uproszczenia redundantnej ramy.
Aby zapewnić, że przepływ powietrza jest pionowy i jednokierunkowy, wybór spadku ciśnienia filtra jest również bardzo ważny i wymagane jest, aby utrata ciśnienia w filtrze nie była stronnicza.
(2) Porównanie systemu FFU i systemem wentylatora przepływu osiowego
FFU to jednostka zasilania powietrza z filtrem wentylatora i HEPA. Powietrze jest wciągnięte przez odśrodkową wentylator FFU i przekształca ciśnienie dynamiczne w ciśnienie statyczne w kanale powietrznym. Jest to równomiernie wysadzane przez filtr HEPA. Ciśnienie zasilania powietrza na suficie jest ciśnieniem ubocznym. W ten sposób żaden kurz nie przeniknie do czystego pomieszczenia podczas wymiany filtra. Eksperymenty wykazały, że system FFU jest lepszy od systemu wentylatora przepływu osiowego pod względem jednorodności wylotu powietrza, równoległości przepływu powietrza i wskaźnika wydajności wentylacji. Wynika to z faktu, że równoległość przepływu powietrza systemu FFU jest lepsza. Zastosowanie systemu FFU może poprawić organizację przepływu powietrza w czystym pokoju.
(3) Wpływ własnej struktury FFU
FFU składa się głównie z wentylatorów, filtrów, przewodników przepływu powietrza i innych komponentów. Filtr HEPA jest najważniejszą gwarancją czystego pomieszczenia w celu osiągnięcia wymaganej czystości wymaganej przez projekt. Materiał filtra wpłynie również na jednolitość pola przepływu. Gdy do wylotu filtra dodaje się materiał szorstki lub płytkę przepływową, pole przepływu wylotowego można łatwo wykonać jednolity.
2. Wpływ interfejsu prędkości z różną czystością
W tym samym czystym pomieszczeniu, między obszarem roboczym a obszarem nie działającym w pionowym przepływu jednokierunkowym, ze względu na różnicę prędkości powietrza w polu HEPA, na interfejsie wystąpi efekt mieszanego wiru, a interfejs ten stanie się turbulentnym strefa przepływu powietrza. Intensywność turbulencji powietrza jest szczególnie silna, a cząsteczki mogą być przenoszone na powierzchnię maszyny sprzętowej i zanieczyścić sprzęt i płytki.
3. Wpływ na personel i sprzęt
Gdy czysty pokój jest pusty, charakterystyka przepływu powietrza w pomieszczeniu zasadniczo spełnia wymagania projektowe. Po wejściu do pomieszczenia czystego ludzie poruszają się, a produkty są transportowane, nieuchronnie przeszkody dla organizacji przepływu powietrza, takie jak ostre punkty wystające z maszyny sprzętowej. W rogach lub krawędziach gaz odwróci się, tworząc burzliwy obszar przepływu, a płyn w tym obszarze nie będzie łatwo poruszony przez przychodzący gaz, powodując w ten sposób zanieczyszczenie.
Jednocześnie powierzchnia sprzętu mechanicznego zostanie podgrzewana z powodu ciągłej pracy, a gradient temperatury spowoduje obszar rozdzielania w pobliżu maszyny, co zwiększa akumulację cząstek w obszarze rozlotowym. Jednocześnie wysoka temperatura z łatwością spowoduje ucieczkę cząstek. Podwójny efekt nasila ogólną warstwę pionową. Trudność kontrolowania czystości strumienia. Pył od operatorów w czystym pokoju może łatwo przestrzegać waflów w tych obszarach rozdzielania.
4. Wpływ powrotu w powietrzu
Gdy opór powracającego powietrza przechodzącego przez podłogę jest inna, nastąpi różnica ciśnienia, powodując przepływ powietrza w kierunku małego oporu i nie zostanie uzyskany równomierny przepływ powietrza. Obecna popularna metoda projektowania jest użycie podwyższonej podłogi. Gdy współczynnik otwierania podwyższonej podłogi wynosi 10%, prędkość przepływu powietrza może być równomiernie rozmieszczona na wysokości roboczej. Ponadto należy zwrócić uwagę na prace związane z czyszczeniem w celu zmniejszenia źródła zanieczyszczenia na podłodze.
5. Zjawisko indukcyjne
Tak zwane zjawisko indukcyjne odnosi się do zjawiska wytwarzania przepływu powietrza w przeciwnym kierunku do jednolitego przepływu, indukującego pył wytwarzany w pomieszczeniu lub kurzu w sąsiednich zanieczyszczonych obszarach po stronie wiatr, powodując w ten sposób zanieczyszczenie płytek. Możliwe zjawiska indukowane obejmują:
(1) Talerz ślepej
W czystym pomieszczeniu z pionowym przepływem jednokierunkowym, ze względu na połączenia na ścianie, na ogół znajdują się duże ślepe panele, które wytwarzają turbulentny przepływ i lokalny przepływ wsteczny.
(2) lampy
Oprawy oświetleniowe w czystym pokoju będą miały większy wpływ. Ponieważ ciepło lampy fluorescencyjnej powoduje wzrost przepływu powietrza, lampa fluorescencyjna nie stanie się obszarem turbulentnym. Zasadniczo lampy w czystym pomieszczeniu są zaprojektowane w kształcie łzy w celu zmniejszenia wpływu lamp na organizację przepływu powietrza.
(3) luki między ścianami
Gdy istnieją luki między ścianami partycji lub sufitami o różnych wymaganiach dotyczących czystości, kurz z obszarów o niskiej czystości można przenieść na sąsiednie obszary o wysokich wymaganiach dotyczących czystości.
(4) odległość między sprzętem mechanicznym a podłogą lub ścianą
Jeśli szczelina między sprzętem mechanicznym a podłogą lub ścianą jest niewielka, nastąpi turbulencja odbicia. Dlatego pozostaw lukę między sprzętem a ścianą i podnieś platformę maszynową, aby uniknąć bezpośredniego kontaktu z podłożem.
Czas postu: listopad 02-2023