Wskaźnik wydajności wiórów w branży produkcyjnej IC jest ściśle związany z wielkością i liczbą cząstek powietrza osadzonych na układie. Dobra organizacja przepływu powietrza może zabrać cząstki wytwarzane przez źródło pyłu z dala od czystego pomieszczenia, aby zapewnić czystość czystości pomieszczenia, to znaczy organizacja przepływu powietrza w czystym pokoju odgrywa istotną rolę w tempie wydajności produkcji IC. Projektowanie organizacji przepływu powietrza w czystym pokoju musi osiągnąć następujące cele: zmniejszyć lub wyeliminować prąd wirowy w polu przepływu, aby uniknąć zachowania szkodliwych cząstek; Zachowaj odpowiedni pozytywny gradient ciśnienia, aby zapobiec zanieczyszczeniu krzyżowym.
Siła przepływu powietrza
Zgodnie z zasadą czystego pokoju siły działające na cząstki obejmują siłę masową, siłę cząsteczkową, przyciąganie między cząsteczkami, siłę przepływu powietrza itp.
Siła przepływu powietrza: odnosi się do siły przepływu powietrza spowodowanego dostarczaniem, przepływem powietrza zwrotnego, przepływem powietrza konwekcyjnego termicznego, sztucznego mieszania i innymi przepływami powietrza o pewnym natężeniu przepływu w celu przenoszenia cząstek. W przypadku technicznej kontroli środowiska czystego pokoju najważniejszym czynnikiem jest siła przepływu powietrza.
Eksperymenty wykazały, że w ruchu przepływu powietrza cząstki podążają za ruchem przepływu powietrza z prawie taką samą prędkością. Stan cząstek w powietrzu zależy od rozkładu przepływu powietrza. Przepływy powietrza, które wpływają na cząstki wewnętrzne, obejmują głównie: przepływ powietrza powietrza (w tym pierwotny przepływ powietrza i wtórny przepływ powietrza), przepływ powietrza powietrza i konwekcji termicznej spowodowane przez osoby chodzące oraz przepływ powietrza spowodowany działaniem procesu i sprzętem przemysłowym. Różne metody zaopatrzenia w powietrze, interfejsy prędkości, operatorzy i sprzęt przemysłowy oraz indukowane zjawiska w czystych pomieszczeniach to czynniki wpływające na poziom czystości.
Czynniki wpływające na organizację przepływu powietrza
1. Wpływ metody zaopatrzenia w powietrze
(1). Prędkość zasilania powietrza
Aby zapewnić jednolity przepływ powietrza, prędkość zasilania powietrza musi być jednolita w jednokierunkowym czystym pomieszczeniu; Martwa strefa powierzchni zasilania powietrza musi być niewielka; a spadek ciśnienia w ULPA musi być również jednolity.
Jednoliczna prędkość zasilania powietrza: to znaczy nierówność przepływu powietrza jest kontrolowana w granicach ± 20%.
Mniej martwą strefę na powierzchni zasilania powietrza: należy nie tylko zmniejszyć płaszczyznę ramki ULPA, ale co ważniejsze, należy przyjąć modułową FFU w celu uproszczenia zbędnej ramki.
Aby zapewnić pionowy jednokierunkowy przepływ powietrza, wybór zrzutu ciśnienia filtra jest również bardzo ważny, wymagający, aby utrata ciśnienia w filtrze nie mogła się odchylić.
(2). Porównanie systemu FFU a systemem wentylatora przepływu osiowego
FFU to jednostka zasilania powietrza z wentylatorem i filtrem (ULPA). Po wciągnięciu powietrza odśrodkowego wentylatora FFU, ciśnienie dynamiczne przekształca się w ciśnienie statyczne w kanale powietrznym i wyrównuje przez Ulpa. Ciśnienie zasilania powietrza na suficie jest ciśnieniem ujemnym, dzięki czemu żaden kurz nie wycieknie do czystego pomieszczenia po wymianie filtra. Eksperymenty wykazały, że system FFU jest lepszy od systemu wentylatora przepływu osiowego pod względem jednorodności wylotowej powietrza, równoległości przepływu powietrza i wskaźnika wydajności wentylacji. Wynika to z faktu, że równoległość przepływu powietrza systemu FFU jest lepsza. Zastosowanie systemu FFU może sprawić, że przepływ powietrza w czystym pomieszczeniu był lepszy.
(3). Wpływ własnej struktury FFU
FFU składa się głównie z wentylatorów, filtrów, urządzeń przewodniczych przepływu powietrza i innych komponentów. Najważniejsza gwarancja ultra-wysokiej wydajności jest najważniejszą gwarancją, czy czysty pokój może osiągnąć wymaganą czystość projektu. Materiał filtra wpłynie również na jednolitość pola przepływu. Gdy do gniazdka filtra dodaje się materiał gruboziarnisty lub laminarną płytkę przepływu, pole przepływu wylotowego można łatwo wykonać jednolity.
2. Wpływ różnych interfejsów prędkości czystości
W tym samym czystym pomieszczeniu, między obszarem roboczym a obszarem nieruchomości pionowego jednokierunkowego przepływu, ze względu na różnicę prędkości powietrza w wylotu ULPA, na interfejsie zostanie wygenerowany efekt wiru mieszanego Strefa przepływu powietrza o szczególnie wysokiej intensywności turbulencji powietrza. Cząstki mogą być przekazywane na powierzchnię sprzętu i zanieczyszczyć sprzęt i płytki.
3. Wpływ personelu i sprzętu
Gdy czysty pokój jest pusty, charakterystyka przepływu powietrza w pomieszczeniu zasadniczo spełnia wymagania projektowe. Gdy sprzęt wejdzie do czystego pomieszczenia, przenoszenie personelu i produkty będą nieuchronnie przeszkody dla organizacji przepływu powietrza. Na przykład, na wystających zakątkach lub krawędziach sprzętu, gaz zostanie przekierowany, aby utworzyć strefę turbulentną, a płyn w strefie nie jest łatwo poruszony przez gaz, powodując w ten sposób zanieczyszczenie. Jednocześnie powierzchnia sprzętu rozgrzeje się z powodu ciągłej pracy, a gradient temperatury spowoduje strefę rozdzielczości w pobliżu maszyny, która zwiększy akumulację cząstek w strefie rozlotowej. Jednocześnie wysoka temperatura z łatwością spowoduje ucieczkę cząstek. Podwójny efekt pogarsza trudność kontrolowania ogólnej pionowej czystości laminarnej. Pył operatorów w czystym pomieszczeniu jest bardzo łatwy do przylegania do waflów w tych strefach rozdzielniczych.
4. Wpływ powrotu w powietrzu
Gdy opór powracającego powietrza przechodzącego przez podłogę jest inna, wygenerowana zostanie różnica ciśnienia, tak aby powietrze płynie w kierunku mniejszego oporu, a jednolity przepływ powietrza nie zostanie uzyskany. Obecna popularna metoda projektowania jest stosowanie podwyższonych podłóg. Gdy szybkość otwierania podwyższonych pięter wynosi 10%, prędkość przepływu powietrza na wysokości pracy pomieszczenia może być równomiernie rozłożona. Ponadto należy zwrócić uwagę na prace związane z czyszczeniem w celu zmniejszenia źródła zanieczyszczenia podłogi.
5. Zjawisko indukcyjne
Tak zwane zjawisko indukcyjne odnosi się do zjawiska, że wytwarzany jest przepływ powietrza w przeciwnym kierunku przepływu jednolitego, a kurz wytwarzany w pomieszczeniu lub kurzu w sąsiednim zanieczyszczonym obszarze jest indukowany po stronie wiatr może zanieczyścić układ. Oto możliwe zjawiska indukcyjne:
(1). Ślepy talerz
W czystym pomieszczeniu z pionowym jednokierunkowym przepływem, ze względu na połączenia na ścianie, na ogół znajdują się duże ślepe płytki, które generują turbulencje w lokalnym przepływie powrotu.
(2). Oczy
Oprawy oświetleniowe w czystym pokoju będą miały większy wpływ. Ponieważ ciepło lamp fluorescencyjnych powoduje wzrost przepływu powietrza, pod lampami fluorescencyjnymi nie będzie burzliwego obszaru. Zasadniczo lampy w czystym pomieszczeniu są zaprojektowane w kształcie łzy w celu zmniejszenia wpływu lamp na organizację przepływu powietrza.
(3.) luki między ścianami
Gdy istnieją luki między partycjami o różnych poziomach czystości lub między partycjami i sufitami, kurz z obszaru o niskiej czystości można przenieść na sąsiedni obszar o wysokich wymaganiach dotyczących czystości.
(4). Odległość między maszyną a podłogą lub ścianą
Jeśli szczelina między maszyną a podłogą lub ścianą jest bardzo mała, spowoduje turbulencję odbicia. Dlatego pozostaw lukę między sprzętem a ścianą i podnieś maszynę, aby uniknąć bezpośrednio dotknięcia maszyny.
Czas postu: luty-05-2025