Ochrona środowiska jest coraz większa uwaga, zwłaszcza wraz ze wzrostem pogody z zamglenia. Inżynieria pomieszczeń jest jednym z środków ochrony środowiska. Jak korzystać z inżynierii czystej pokoju do dobrej pracy w zakresie ochrony środowiska? Porozmawiajmy o kontroli w inżynierii czystej pokoju.
Kontrola temperatury i wilgotności w czystym pokoju
Temperatura i wilgotność czystych przestrzeni są określane głównie na podstawie wymagań procesu, ale przy spełnieniu wymagań procesu należy wziąć pod uwagę komfort człowieka. Wraz z poprawą wymagań dotyczących czystości powietrza istnieje trend surowszych wymagań dotyczących temperatury i wilgotności.
Zasadniczo, ze względu na rosnącą precyzję przetwarzania, wymagania dotyczące wahań temperatury stają się coraz mniejsze. Na przykład w procesie litografii i ekspozycji produkcji obwodów zintegrowanych na dużą skalę różnica współczynnika rozszerzalności cieplnej między szklanymi i krzemowymi płytami stosowanymi jako materiały maski stają się coraz małe.
Wafel krzemowy o średnicy 100 μm powoduje rozszerzenie liniowe 0,24 μm, gdy temperatura wzrośnie o 1 stopień. Dlatego konieczna jest stała temperatura ± 0,1 ℃, a wartość wilgotności jest ogólnie niska, ponieważ po poceniu produkt będzie zanieczyszczony, szczególnie w warsztatach półprzewodnikowych, które boją się sodu. Ten rodzaj warsztatów nie powinien przekraczać 25 ℃.
Nadmierna wilgotność powoduje więcej problemów. Gdy wilgotność względna przekracza 55%, na ścianie rury wody chłodzącej powstanie kondensacja. Jeśli występuje w urządzeniach precyzyjnych lub obwodach, może powodować różne wypadki. Gdy wilgotność względna wynosi 50%, łatwo jest zardzewiać. Ponadto, gdy wilgotność jest zbyt wysoka, pył przylegający do powierzchni wafla krzemowego zostanie chemicznie zaadsorbowany na powierzchni przez cząsteczki wody w powietrzu, co jest trudne do usunięcia.
Im wyższa wilgotność względna, tym trudniej jest usunąć przyczepność. Jednak gdy wilgotność względna jest poniżej 30%, cząstki są również łatwo adsorbowane na powierzchni z powodu działania siły elektrostatycznej, a duża liczba urządzeń półprzewodników jest podatna na rozkład. Optymalny zakres temperatury produkcji wafla krzemu wynosi 35–45%.
Ciśnienie powietrzakontrolaw czystym pokoju
W przypadku większości czystych przestrzeni, aby zapobiec inwazji zanieczyszczenia zewnętrznego, konieczne jest utrzymanie ciśnienia wewnętrznego (ciśnienie statyczne) wyższe niż ciśnienie zewnętrzne (ciśnienie statyczne). Utrzymanie różnicy ciśnienia powinno ogólnie być zgodne z następującymi zasadami:
1. Ciśnienie w czystych przestrzeniach powinno być wyższe niż w przestrzeni bez czystych.
2
3. Drzwi między czystymi pomieszczeniami powinny być otwarte w kierunku pomieszczeń o wysokim poziomie czystości.
Utrzymanie różnicy ciśnienia zależy od ilości świeżego powietrza, które powinno być w stanie zrekompensować wyciek powietrza z szczeliny pod tą różnicą ciśnienia. Tak więc fizycznym znaczeniem różnicy ciśnienia jest odporność przepływu powietrza przecieku (lub infiltracji) przez różne szczeliny w czystym pomieszczeniu.
Czas po: 21-2023 lipca