1. W pomieszczeniu czystym należy zorganizować różne rodzaje pomieszczeń do magazynowania i dystrybucji chemikaliów, w zależności od wymagań procesu produkcyjnego oraz właściwości fizycznych i chemicznych substancji chemicznej. Do dostarczania niezbędnych chemikaliów do urządzeń produkcyjnych należy używać rurociągów. Pomieszczenia do magazynowania i dystrybucji chemikaliów w pomieszczeniu czystym znajdują się zazwyczaj w pomocniczym obszarze produkcyjnym, zazwyczaj na parterze budynku jedno- lub wielokondygnacyjnego, w pobliżu ściany zewnętrznej. Chemikalia powinny być przechowywane oddzielnie, zgodnie z ich właściwościami fizycznymi i chemicznymi. Niezgodne chemikalia powinny być umieszczone w oddzielnych pomieszczeniach do magazynowania i dystrybucji chemikaliów, oddzielonych solidnymi przegrodami. Niebezpieczne chemikalia powinny być przechowywane w oddzielnych pomieszczeniach do magazynowania lub dystrybucji o odporności ogniowej co najmniej 2,0 godziny między sąsiednimi pomieszczeniami. Pomieszczenia te powinny znajdować się w pomieszczeniu na pierwszym piętrze budynku produkcyjnego, w pobliżu ściany zewnętrznej.
2. Pomieszczenia czyste w przemyśle elektronicznym często obejmują pomieszczenia magazynowe i dystrybucyjne kwasów i zasad, a także rozpuszczalników łatwopalnych. Pomieszczenia magazynowe i dystrybucyjne kwasów zazwyczaj mieszczą systemy magazynowe i dystrybucyjne kwasu siarkowego, fosforowego, fluorowodorowego i solnego. Pomieszczenia magazynowe i dystrybucyjne zasad zazwyczaj mieszczą systemy magazynowe i dystrybucyjne wodorotlenku sodu, placka wodorotlenkowego, wodorotlenku amonu i wodorotlenku tetrametyloamoniowego. Pomieszczenia magazynowe i dystrybucyjne rozpuszczalników łatwopalnych zazwyczaj mieszczą systemy magazynowe i dystrybucyjne rozpuszczalników organicznych, takich jak alkohol izopropylowy (IPA). Pomieszczenia czyste w zakładach produkcji płytek półprzewodnikowych układów scalonych posiadają również pomieszczenia magazynowe i dystrybucyjne zawiesiny polerującej. Pomieszczenia magazynowe i dystrybucyjne chemikaliów zazwyczaj znajdują się w pomocniczych obszarach produkcyjnych lub pomocniczych w pobliżu lub w sąsiedztwie obszarów produkcji czystej, zazwyczaj na parterze, z bezpośrednim dostępem do zewnątrz.
3. Pomieszczenia magazynowania i dystrybucji chemikaliów są wyposażone w beczki lub zbiorniki magazynowe o różnej pojemności, w zależności od rodzaju, ilości i właściwości użytkowych chemikaliów wymaganych do produkcji produktu. Zgodnie z normami i przepisami, chemikalia powinny być przechowywane oddzielnie i klasyfikowane. Pojemność używanych beczek lub zbiorników powinna być wystarczająca na siedmiodniowe zużycie chemikaliów. Należy również zapewnić beczki lub zbiorniki dzienne o pojemności wystarczającej na pokrycie 24-godzinnego zużycia chemikaliów wymaganych do produkcji produktu. Pomieszczenia magazynowania i dystrybucji rozpuszczalników łatwopalnych i chemikaliów utleniających powinny być oddzielne i oddzielone od sąsiednich pomieszczeń solidnymi ścianami ognioodpornymi o odporności ogniowej 3,0 godziny. Jeśli znajdują się na parterze budynku wielokondygnacyjnego, powinny być oddzielone od innych pomieszczeń niepalnymi podłogami o odporności ogniowej co najmniej 1,5 godziny. Scentralizowane pomieszczenie sterowania systemem bezpieczeństwa chemicznego i monitoringu w pomieszczeniu czystym powinno znajdować się w oddzielnym pomieszczeniu.
4. Wysokość pomieszczeń do magazynowania i dystrybucji chemikaliów w pomieszczeniu czystym powinna być określona na podstawie wymagań dotyczących rozmieszczenia sprzętu i rurociągów i zasadniczo nie powinna być mniejsza niż 4,5 metra. Jeśli pomieszczenie do magazynowania i dystrybucji chemikaliów znajduje się w pomocniczym obszarze produkcyjnym pomieszczenia czystego, wysokość pomieszczenia do magazynowania i dystrybucji chemikaliów powinna być zgodna z wysokością budynku.
Czas publikacji: 01-08-2025