Oprócz ścisłej kontroli cząstek, elektroniczne pomieszczenia czyste reprezentowane przez warsztaty produkujące chipy, warsztaty bezpyłowe z obwodami scalonymi i warsztaty produkujące dyski mają również bardziej rygorystyczne wymagania dotyczące kontroli temperatury i wilgotności, oświetlenia i mikrowstrząsów. Ściśle usuń wpływ elektryczności statycznej na produkty produkcyjne, aby środowisko mogło spełnić wymagania procesu produkcyjnego produktów elektronicznych w czystym środowisku.
Temperaturę i wilgotność elektronicznego pomieszczenia czystego należy określić zgodnie z wymaganiami procesu produkcyjnego. Gdy nie ma specjalnych wymagań dla procesu produkcyjnego, temperatura może wynosić 20-26°C, a wilgotność względna 30%-70%. Temperatura w pomieszczeniu czystym dla personelu i salonie może wynosić 16–28 ℃. Według chińskiej normy krajowej GB-50073, która jest zgodna z międzynarodowymi normami ISO, poziom czystości tego typu pomieszczeń czystych wynosi 1-9. Wśród nich, klasy 1-5, przepływ powietrza jest przepływem jednokierunkowym lub przepływem mieszanym; przepływ powietrza klasy 6 jest przepływem niejednokierunkowym, a wymiana powietrza wynosi 50-60 razy/h; typ przepływu powietrza klasy 7 to przepływ niejednokierunkowy, a wymiana powietrza wynosi 15-25 razy/h; klasa 8-9 to przepływ niejednokierunkowy, wymiana powietrza 10-15 razy/h.
Zgodnie z obowiązującymi specyfikacjami poziom hałasu w pomieszczeniu czystym z elektroniką klasy 10 000 nie powinien być większy niż 65 dB(A).
1. Pełny stosunek pomieszczenia czystego z przepływem pionowym w pomieszczeniu czystym z elektronicznym przepływem nie powinien być mniejszy niż 60%, a pomieszczenie czyste z przepływem poziomym w jednym kierunku nie powinien być mniejszy niż 40%, w przeciwnym razie będzie to częściowy przepływ jednokierunkowy.
2. Różnica ciśnień statycznych pomiędzy pomieszczeniem czystym wyposażonym w urządzenia elektroniczne a otoczeniem na zewnątrz nie powinna być mniejsza niż 10 Pa, a różnica ciśnień statycznych pomiędzy obszarami czystymi i nieczystymi o różnej czystości powietrza nie powinna być mniejsza niż 5 Pa.
3. Ilość świeżego powietrza w elektronicznym pomieszczeniu czystym klasy 10000 powinna przyjmować wartość dwóch poniższych pozycji.
4. Skompensować sumę objętości powietrza wywiewanego w pomieszczeniu i objętości świeżego powietrza wymaganą do utrzymania wartości nadciśnienia w pomieszczeniu.
5. Zadbaj o to, aby ilość świeżego powietrza dostarczanego do pomieszczenia czystego na osobę na godzinę była nie mniejsza niż 40 metrów kwadratowych.
Czas publikacji: 8 kwietnia 2024 r