Oprócz ścisłej kontroli cząstek, pomieszczenia czyste dla elektroniki, takie jak warsztaty produkcji chipów, warsztaty bezpyłowe układów scalonych i warsztaty produkcji dysków, mają również surowsze wymagania dotyczące kontroli temperatury i wilgotności, oświetlenia i odporności na mikrowstrząsy. Należy ściśle eliminować wpływ elektryczności statycznej na produkty produkcyjne, aby środowisko mogło spełniać wymagania procesu produkcji produktów elektronicznych w czystym środowisku.
Temperaturę i wilgotność czystego pomieszczenia elektronicznego należy określić zgodnie z wymaganiami procesu produkcyjnego. Gdy nie ma szczególnych wymagań dotyczących procesu produkcyjnego, temperatura może wynosić 20-26°C, a wilgotność względna 30%-70%. Temperatura czystego pomieszczenia dla personelu i salonu może wynosić 16-28℃. Zgodnie z chińską normą krajową GB-50073, która jest zgodna z międzynarodowymi normami ISO, poziom czystości tego typu pomieszczenia czystego wynosi 1-9. Wśród nich, klasa 1-5, schemat przepływu powietrza to przepływ jednokierunkowy lub przepływ mieszany; klasa 6 schemat przepływu powietrza to przepływ niejednokierunkowy, a wymiana powietrza wynosi 50-60 razy/h; klasa 7 typ przepływu powietrza to przepływ niejednokierunkowy, a wymiana powietrza wynosi 15-25 razy/h; klasa 8-9 typ przepływu powietrza to przepływ niejednokierunkowy, a wymiana powietrza wynosi 10-15 razy/h.
Zgodnie z obowiązującymi specyfikacjami poziom hałasu w pomieszczeniu czystym z urządzeniami elektronicznymi klasy 10 000 nie powinien być większy niż 65 dB(A).
1. Całkowity stosunek pionowego przepływu powietrza w pomieszczeniu czystym z urządzeniami elektronicznymi nie powinien być mniejszy niż 60%, a poziomy jednokierunkowy przepływ powietrza w pomieszczeniu czystym nie powinien być mniejszy niż 40%, w przeciwnym razie będzie to częściowo jednokierunkowy przepływ.
2. Różnica ciśnień statycznych między pomieszczeniem czystym z urządzeniami elektronicznymi a otoczeniem zewnętrznym nie powinna być mniejsza niż 10 Pa, a różnica ciśnień statycznych między obszarami czystymi a obszarami nieoczyszczonymi o różnej czystości powietrza nie powinna być mniejsza niż 5 Pa.
3. Ilość świeżego powietrza w pomieszczeniu czystym z urządzeniami elektronicznymi klasy 10000 powinna odpowiadać wartości dwóch poniższych parametrów.
4. Skompensuj sumę objętości powietrza wywiewanego z pomieszczenia i objętości powietrza świeżego potrzebną do utrzymania dodatniego ciśnienia w pomieszczeniu.
5. Upewnij się, że ilość świeżego powietrza dostarczanego do pomieszczenia czystego na osobę na godzinę nie jest mniejsza niż 40 metrów kwadratowych.
Czas publikacji: 08-04-2024