IS0 14644-5 wymaga, aby instalacja stałego wyposażenia w czystych pomieszczeniach była oparta na projekcie i funkcji czystej pomieszczenia. Poniższe szczegóły zostaną przedstawione poniżej.
1. Metoda instalacji sprzętu: Idealną metodą jest zamknięcie czystego pomieszczenia w okresie instalacji sprzętu i posiadanie drzwi, które mogą spełnić kąt oglądania sprzętu lub zarezerwować kanał na płycie, aby umożliwić przechodzenie przez nowy sprzęt i wprowadzanie czystej Pokój, aby zapobiec zanieczyszczeniu czystego pomieszczenia w pobliżu okresu instalacji, należy podjąć środki ochronne, aby upewnić się, że pomieszczenie czystych nadal spełnia wymagania dotyczące czystości, a kolejne wymagane prace.
2. Jeśli pracy w czystym pomieszczeniu nie można zatrzymać w każdym okresie instalacji lub jeśli istnieją struktury, które muszą zostać zdemontowane, działający pomieszczenie musi być skutecznie odizolowane od obszaru roboczego: można zastosować tymczasowe ściany lub partycje izolacyjne. Aby nie utrudniać prac instalacyjnych, wokół sprzętu powinno być wystarczająco dużo miejsca. Jeśli warunki na to pozwalają, dostęp do obszaru izolacji może być za pośrednictwem kanałów usług lub innych obszarów niekrytycznych: jeśli nie jest to możliwe, należy podjąć środki w celu zminimalizowania wpływu zanieczyszczenia spowodowanego pracą instalacyjną. Obszar izolacji powinien utrzymywać równe ciśnienie lub podciśnienie. Zaopatrzenie w czyste powietrze należy odciąć w wysokim obszarze, aby uniknąć dodatnim nacisku na otaczające czyste pomieszczenia. Jeśli dostęp do obszaru izolacji znajduje się tylko przez sąsiedni czysty pokój, do usuwania butów należy użyć lepkich podkładek.
3. Po wejściu do obszaru na dużej wysokości, jednorazowe buty lub obrony i jednoczęściowe ubrania robocze mogą być użyte, aby uniknąć zanieczyszczenia czystych ubrań. Te elementy jednorazowe należy usunąć przed opuszczeniem obszaru kwarantanny. Należy opracować metody monitorowania obszaru wokół obszaru izolacji podczas procesu instalacji sprzętu i należy określić częstotliwość monitorowania, aby zapewnić wykrycie wszelkich zanieczyszczenia, które może przebić się do sąsiedniego pomieszczenia. Po ustanowieniu środków izolacyjnych można skonfigurować różne wymagane obiekty usług publicznych, takie jak energia elektryczna, woda, gaz, próżnia, sprężone rurociągi powietrza i ścieków. Należy zwrócić uwagę na kontrolowanie i izolowanie dymu i zanieczyszczeń generowanych przez operację w jak największym stopniu, aby uniknąć nieumyślnego rozłożonego do otaczającego czystego pomieszczenia. Powinien również ułatwić skuteczne czyszczenie przed usunięciem bariery izolacyjnej. Po spełnieniu wymagań dotyczących użytkowania, cały obszar izolacji powinien zostać oczyszczony i odkażony zgodnie z zalecanymi procedurami czyszczenia. Wszystkie powierzchnie, w tym wszystkie ściany, sprzęt (stały i ruchomy) i podłogi, powinny być czyszczone próżniowo, wycierane i mopowane, ze szczególnym uwzględnieniem obszarów czyszczenia za ochroną sprzętu i pod sprzętem.
4. Wstępny test wydajności sprzętu można przeprowadzić na podstawie faktycznych warunków czystego pomieszczenia i zainstalowanego sprzętu, ale kolejne testy akceptacyjne należy przeprowadzić, gdy warunki czystego środowiska są w pełni spełnione. W zależności od warunków w miejscu instalacji możesz zacząć ostrożnie zdemontować ścianę izolacyjną; Jeśli zaopatrzenie w czyste powietrze zostało wyłączone, uruchom go ponownie; Czas na ten etap pracy powinien zostać starannie wybrany, aby zminimalizować zakłócenia w normalnej pracy w czystym pokoju. W tym czasie może być konieczne zmierzenie, czy stężenie cząstek w powietrzu spełnia określone wymagania.
5. Czyszczenie i przygotowanie wnętrza sprzętu i kluczowych komory procesowych należy przeprowadzać w normalnych warunkach w czystym pomieszczeniu. Wszystkie komory wewnętrzne i wszystkie powierzchnie, które mają kontakt z produktem lub są zaangażowane w transport produktu, muszą zostać usunięte do wymaganego poziomu czystości. Sekwencja czyszczenia sprzętu powinna być od góry do dołu. Jeśli cząsteczki zostaną rozłożone, większe cząstki spadną na dno sprzętu lub ziemi z powodu grawitacji. Wyczyść zewnętrzną powierzchnię sprzętu od góry do dołu. W razie potrzeby wykrywanie cząstek powierzchniowych powinno być przeprowadzane w obszarach, w których wymagania dotyczące produktu lub procesu produkcyjnego mają kluczowe znaczenie.
6 zwykłych czystych pokoi. W tym celu National Standard „Code for Clean Factory Construction and Acceptance Acceptance” opublikowane w 2015 r. Stworzyło pewne przepisy dotyczące instalacji sprzętu do procesu produkcyjnego w czystych fabrykach, w tym głównie następujące.
①. Aby zapobiec zanieczyszczeniu, a nawet uszkodzeniu czystego pomieszczenia, które przeszło „pustą” akceptację podczas procesu instalacji sprzętu do procesu produkcyjnego, proces instalacji sprzętu nie może mieć nadmiernych wibracji ani pochylenia, i nie może być podzielony i zanieczyszczający sprzęt powierzchnie.
②. Aby instalacja sprzętu do procesu produkcyjnego w czystym pomieszczeniu jest uporządkowana i bez lub z mniejszym siedzeniem, a także przestrzeganie czystego systemu zarządzania produkcją w czystych warsztatach, upewnij się, że proces instalacji sprzętu produkcyjnego jest chroniony zgodnie z różnymi ” Produkty gotowe ”i„ Półprzewodnikowe produkty ”zaakceptowane w„ Pustym stanie ”, materiały, maszyny itp., Które muszą być używane w procesie instalacji, nie mogą emitować ani wytwarzać (w tym w normalnym działaniu pomieszczenia czystego przez długi czas) zanieczyszczenia, które są szkodliwe dla wytwarzanych produktów. Należy zastosować czyste materiały, które są pozbawione pyłu, bez rdzy, bez smarowania i nie wytwarzają kurzu podczas użytkowania.
③. Powierzchnia dekoracji budynku w czystym pomieszczeniu powinna być chroniona czystymi, bez pyłu płyt, filmów i innych materiałów; Płyta podkładowa wyposażenia powinna być wykonana zgodnie z wymaganiami dotyczącymi dokumentu technicznego projektowania lub sprzętu. Jeśli nie ma wymagań, należy zastosować płytki ze stali nierdzewnej lub plastikowe płyty. Profile stali węglowej stosowane do niezależnych fundamentów i wzmocnień podłogowych powinny być traktowane antykorozją, a powierzchnia powinna być płaska i gładka; Elastyczne materiały uszczelniające stosowane do uszczelnienia.
④. Materiały powinny być oznaczone składnikami, odmianami, datą produkcji, okresu ważności magazynowania, instrukcjami metod budowy i certyfikatami kwalifikacji produktu. Maszyny i narzędzia używane w czystych pomieszczeniach nie mogą być przenoszone do pomieszczeń nie czyszczonych do użytku. Maszyny i narzędzia nie można przenosić do czystego pomieszczenia do użytku. Maszyny i narzędzia używane w czystym obszarze powinny upewnić się, że odsłonięte części maszyny nie wytwarzają pyłu ani nie podejmują środków, aby zapobiec zanieczyszczeniu środowiska. Powszechnie używane maszyny i narzędzia powinny być czyszczone w pośluniu przed przeniesieniem do czystego obszaru. , powinien spełniać wymagania dotyczące bycia wolnym od oleju, bez brudności, bez kurzu i bez rdzy, i należy je przenieść po przejściu znaku i przymocowania znaku „czystego” lub „tylko czystego obszaru”.
⑤. Sprzęt do procesu produkcyjnego w czystym pomieszczeniu należy zainstalować na „określonych podłogach”, takich jak podwyżki. Fundacja sprzętu powinna być ogólnie ustawiona na dolnej technicznej podłodze antresoli lub na porowatej płycie cementowej; Działania, które należy zdemontować, aby zainstalować fundament struktura podłogi po wycięciu ręcznej piły elektrycznej, powinny zostać wzmocnione, a jej pojemność obciążenia nie powinna być niższa niż pierwotna pojemność obciążenia. Gdy stosuje się niezależny podkład stalowej struktury ramy, powinien być wykonany z ocynkowanego materiału lub stali nierdzewnej, a odsłonięta powierzchnia powinna być płaska i gładka.
⑥. Gdy proces instalacji urządzeń do procesu produkcyjnego w czystym pomieszczeniu wymaga otwierania otworów w panelach ściennych, zawieszeniu sufitów i podniesionych podłóg, operacje wiertnicze nie mogą dzielić ani zanieczyszczać powierzchni paneli ściennych i zawieszonych paneli sufitowych, które należy zachować. Po otwarciu podniesionej podłogi, gdy fundamentu nie można zainstalować na czas, należy zainstalować poręcze bezpieczeństwa i znaki zagrożenia; Po zainstalowaniu sprzętu produkcyjnego szczeliny wokół otworu należy uszczelnić, a sprzęt i komponenty uszczelniające powinny być w elastycznym kontakcie, a połączenie między komponentem uszczelniającym a płytą ścienną powinno być ciasne i twarde; Powierzchnia uszczelniająca po jednej stronie warstwy powinna być płaska i gładka.
Czas po: 06-2023 września